TOPCon电池和 HJT电池产线对薄膜沉积的需求更高。TOPCon电池生产线可以由 PERC电池生产线升级改造实现,除原薄膜沉积需求外,还增加了隧穿层和掺杂多晶硅层镀膜需求。HJT电池整体结构变化较大,其制造环节只需 4大类设备,分别是制绒清洗设备(投资占比 10%)、非晶硅沉积设备(投资占比 50%)、透明导电薄膜设备(投资占比 25%)和印刷设备(投资占比 15%),其中非晶硅沉积设备、透明导电薄膜设备均需要用到薄膜沉积设备。光伏领域中薄膜沉积技术以 PECVD 和 ALD为主,综合使用多项技术路线是行业趋势。PECVD技术因其兼容性高,各类型应用前景广泛。ALD 技术作为成膜质量最好的技术,随着光伏效率提升对薄膜工艺要求提高,也有更多的应用场景。行业内薄膜沉积设备厂商目前主要以PECVD 或 ALD 技术路线为主,根据各自的技术积累和未来技术方向的专业判断,同时进行多种技术路线的选择和尝试。