微通道盖板(MCL)技术示意
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从物理结构上看,MLCP 路线中,冷板与芯片之间隔着两层热界面材料(TIM)和一块均热板(HIS),热阻链条依然冗长;MCL 路径中,在芯片封装的盖板内部直接蚀刻出微通道,使冷却液直接与芯片盖板热交换,相当于较 MLCP 减少了一层 TIM 和均热板,通过消除中间介质的热阻,进一步提高了散热效率。
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