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TSV 成本结构中通孔蚀刻占比最高，市场规模增速快。从成本拆分来看，TSV 工艺中，通孔蚀刻占比最高，为 44%，其次为通孔填充和减薄，分别为 25%和 24%。从市场规模来看，据 Vantage Market Research 预测，TSV 市场 2022-2026 年CAGR为 16%，2026年将达 12.6亿美元。
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