2020年CCP、ICP市场规模对比
2023-03-15 08:09:49
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2025 年全球刻蚀设备市场将超过 180 亿美元，其中 ICP 空间更大，国内 CCP 市场占比相对更高。据统计，2021 年全球刻蚀设备市场规模约为 175 亿美元，其中用于硅刻蚀和金属刻蚀的 ICP 刻蚀设备占比刻蚀设备总体市场份额的 62%，用于介质刻蚀的 CCP 刻蚀设备占比份额为 38%。市场占比方面，ICP 设备占比相对更高，主要原因是先进制程中，线宽和刻蚀精度要求提升，沉积的膜厚变薄，ICP 作为低能离子刻蚀，对刻蚀结构表面损伤更小，因此市场占比提升更多。Gartner 预测 2025 年全球集成电路制造刻蚀设备市场规模预计将增长至 181.85 亿美元，年复合增长率约为 5.84%。而国内集成电路制造市场由于起步较晚，目前以成熟制程为主，相较于国外市场 CCP 刻蚀机市场相对更大。
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