中科飞测三维形貌量测设备技术对比
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➢ 三维形貌量测设备系列：公司该型号设备的重复性精度达到 0.1nm，能够支持 2Xnm及以上制程工艺中的三维形貌测量，已在长江存储等知名晶圆制造厂商的产线上实现无差别应用。
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