MEMS微机电系统及主要产品类别概览
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MEMS（Micro Electromechanical System）的全称是微型电子机械系统，其本质是利用半导体制造工艺和材料，集成微传感器、微执行器、微机械结构、微电源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件等于一体的微型器件或系统，具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化等优点，内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS 技术是当下最炙手可热的传感器制造技术，也是传感器小型化、智能化、低能耗的重要推动力。MEMS 微机电系统主要可分为 MEMS 传感器和 MEMS 执行器，其中 MEMS 传感器由 MEMS芯片和 ASIC芯片封装构成。
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