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投影物镜结构类型主要包括全折射型、折反射型、全反射型。由于单片镜片存在像差、球差等问题,投影物镜多采用组合镜片进行纠正,DUV光刻机物镜多采用折射式设计((即镜片均为透镜),随着技术演进向浸没式,镜片组中也会加入反射镜,镜片组中同时包含透镜与反射镜,以实现相同条件下更大数值孔径,进入 EUV领域,由于 EUV使用的波长为 13.5nm,该波段的光几乎没有光学材料可以透过,只能采用全反射式进行设计。
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