公司电子特气产能规模位居国内前列,规划 6000 吨/年三氟化氮。目前,昊华气体拥有三氟化氮 5000 吨/年、四氟化碳 1450 吨/年、六氟化硫 1000 吨/年、六氟化钨 700 吨/年产能,产品纯度西南电子特种气体建设项目,均达到 4N 及以上。在建产能方面,昊华气体拟在四川自贡投资 14.83 亿元新建西南电子特种气体建设项目,建设总规模为 6000 吨/年电子级三氟化氮气体生产线、4000 吨/年光电子级高纯氨生产线和液体空分装置(生产液氮 100000 吨/年)生产线,产能全部投产后,昊华气体的三氟化氮产能将提升至 1.1 万吨/年,产能规模位居全国前列。