半导体各产业链离不开洁净室
2023-06-20 08:10:13
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AMC 会在半导体制造的栅底氧化、薄膜、多晶硅和硅化物形成、接触成型、光刻等多个关键工艺上造成各种危害，影响产品质量，是半导体制造面临越来越严峻的问题，也是生产环境控制中亟待解决的问题。因此洁净室的相关建设投资显得尤为重要，且在半导体整体产业链中涉及链条相当长，对应投资需求也较大。
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