2023年主要企业六氟化硫产能（工业级+电子级）
2024-04-15 08:15:44
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随着中国集成电路产业的不断发展，电子六氟化硫的市场需求加快，但具备大规模生产电子六氟化硫能力的公司很少。公司下属黎明院于 2013 年开始“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”的课题研究，在多项技术上取得突破，是国内最早从事六氟化硫研发的企业。目前公司具备六氟化硫产能 1800吨，其中电子级六氟化硫产能 1000吨，产品纯度可达 5.5N。
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