图10.2022年各类半导体设备价值量
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目前,国产设备在大束流离子注入、高深宽比/高选择比刻蚀、ALD 等核心领域仍面临极高技术壁垒,突破需求较为紧迫。随着存储芯片堆叠层数提升、HBM 需求不断增长,相关设备的技术重要性与市场空间将进一步凸显,是影响产业链自主可控的关键一环。
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