台积电12/16nm产线对应CMP设备需求（2万片/月）
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国内在建及规划产能对 CMP 设备需求超 300 亿元，成长空间广阔。台积电南京 12 寸晶圆产线（一期）为 12nm/16nm 的先进制程工艺，月产能 2 万片，目前已满产，根据《台积电（南京）有限公司环境风险评估报告》，该项目环评设计所需 CMP 设备 32 台，分别为12 台 Cu CMP、16 台氧化层 CMP 和 4 台 W CMP，因此我们可以判断月产能 1 万片的12nm/16nm 产线大约需要 16 台 CMP 抛光设备。保守假设中国大陆 12 寸晶圆产线平均每万片扩产需要 8 台 CMP 设备，根据 ITTBANK 数据显示国内 12 寸晶圆产线扩产规划约为 206万片/月，假设产线产能与设备投入量线性相关，对应的 CMP 设备需求量至少为 1648 台，假设 12寸 CMP设备单价为 2000万元，则规划 12寸线对应国内 CMP设备价值量将达到 330亿元人民币；假设规划产能平均在 5 年内进行设备招标，则对应平均每年国内的 CMP 设备的采购需求为 66 亿元。
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