根据芯思想研究院调研，截至 2023 年 12 月 20日，中国大陆 12英寸、8 英寸和 6 英寸及以下的硅晶圆制造线共有 210条（不含纯 MEMS生产线、化合物半导体生产线和光电子生产线）。（1）中国大陆共建有 12 英寸晶圆厂 45 座，规划产能合计 238 万片，实际产量约在 125-140万片之间；在建 24 座，规划产能合计 125 万片（其中外资在建 18 万片）；规划兴建或改造 13座，规划产能合计 57万片（其中外资规划 5万片）；全部产能合计 420万片（其中外资产能 77万片）。（2）中国大陆共建有 8英寸晶圆厂 34 座，规划产能合计 168 万片，已经装机产能 152万片（其中外资装机 35万片），实际产量约在 140万片左右；在建 5座，规划产能合计 20 万片；规划兴建或改造 11座，规划产能合计 32 万片；全部产能合计 220万片。（3）中国大陆共建有 6英寸晶圆厂 48 座，规划产能合计 264万片，已经装机产能 206万片，实际产量约在 180万片左右；在建 4座，规划产能合计 21 万片；规划兴建或改造 6座，规划产能合计 34 万片；全部产能合计 319万片。（4）中国大陆共建有 5/4/3 英寸晶圆厂 63座，规划产能合计 730万片（按 4英寸计算）。