Halfpitch=线宽（CD）=Resolution分辨率
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光刻技术不断衍变，分辨率主要取决于光源波长和数值孔径。根据摩尔定律，集成电路上可以容纳的晶体管数目大约每经过 24个月便会增加一倍，这需要将晶体管越做越小，也就是需要线宽（CD）越来越小，光刻成像的分辨率（Resolutions）越来越高。根据瑞利准则CD=K1∙λ/NA（其中λ为光源波长，NA为数值孔径，k1为系数），分辨率主要取决于光源波长λ和数值孔径 NA。
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