2025年全球前十大电子特气产品市场规模及占比
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DRAM/HBM、3D NAND，其中六氟化钨主要用于化学气相沉积，六氟丁二烯为刻蚀气体，可以实现超高深宽比的快速刻蚀和精准控制，因此对于3D NAND多层堆叠结构刻蚀效果较好。
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