厂务设备收入预计将进入快速增长期。工艺废气处理设备是公司当前最成熟的厂务设备产品，未来三年随着产能爬坡，预测销量由 2025 年的 350 台增至 2028 年的 1200 台，由于晶圆厂 Sub-Fab 层空间越来越紧缺，集成度更高的双腔废气处理产品需求增长更快，推动单设备均价从 30 万元升至 39 万元，对应工艺废气处理设备 2028 年销售收入 4.66 亿元，三年收入复合增长率为 65%；真空设备 2025 年产能建设完成进入客户验证阶段，预计 2026 年开始批量销售，预测 2028 年销售1140 台，对应销售收入 0.98 亿元；温控设备同样 2026 年起贡献收入，而后销售规模持续增长，预测 2028 年销售 270 台，对应销售收入 0.42 亿元。预测 2026-2028年工艺废气处理/真空设备/温控设备合计收入为 2.62/4.06/6.06 亿元，同比+154%/+55%/+49%。