调制器的方案包括马赫-曾德尔调制器(MZM)/微环谐振器(MRM),MZM是现阶段主流方案,未来高集成度MRM是趋势。(1)MZM基于双波导臂干涉原理,通过电信号改变波导折射率实现光强调制,其优势在于全带宽工作(支持C/L/O波段)和高工艺容差(对制造误差不敏感),且通过行波电极设计可实现单通道200Gbps以上的高速调制。然而MZM的尺寸较大(通常>2mm)、功耗较高(反向偏置载流子耗尽型需高驱动电压)限制了其在超紧凑场景的应用。 (2) MRM基于微环谐振腔的波长选择性,通过改变谐振条件实现调制,MRM的制造工艺较复杂,其核心优势是超小尺寸(半径可<10μm)和低功耗(驱动电压仅需1-2V)。MRM的高密度潜力使可能成为下一代硅光芯片的核心方案。