硅基马赫-曾德尔调制器MZM（左）及微环谐振器MRM（右）结构
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调制器的方案包括马赫-曾德尔调制器（MZM）/微环谐振器（MRM），MZM是现阶段主流方案，未来高集成度MRM是趋势。(1)MZM基于双波导臂干涉原理，通过电信号改变波导折射率实现光强调制，其优势在于全带宽工作（支持C/L/O波段）和高工艺容差（对制造误差不敏感），且通过行波电极设计可实现单通道200Gbps以上的高速调制。然而MZM的尺寸较大（通常>2mm）、功耗较高（反向偏置载流子耗尽型需高驱动电压）限制了其在超紧凑场景的应用。 (2) MRM基于微环谐振腔的波长选择性，通过改变谐振条件实现调制，MRM的制造工艺较复杂，其核心优势是超小尺寸（半径可<10μm）和低功耗（驱动电压仅需1-2V）。MRM的高密度潜力使可能成为下一代硅光芯片的核心方案。
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