图17.2022年半导体干法刻蚀设备冷却剂的全球份额
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氟化液全球份额高度集中,3M 约占据全球 80%市场。在半导体制造环节中,由于客户对氟化液的稳定性与绝缘性具有极高要求,导致氟化液的制造工艺与客户认证具有极高的壁垒,因此全球氟化液的供给高度集中于头部企业。目前市场主要厂家以海外企业为主,包括 3M、科慕、索尔维等。这些企业具备一定先发优势、技术优势、市场优势,与客户实现了深度绑定,导致后发企业难以抢占其份额。根据汤之上隆的研究,3M 公司占据了氟化冷却液全球约 80%的份额,其中比利时工厂生产的 Fluorinert 约占 50%,美国工厂生产的 Novec 约占 30%,剩余 20%份额主要被索尔维占据。
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