半导体设备零部件按适用性分类
2022-08-26 06:49:56
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按照零部件在各类半导体设备中适用性的不同,又可将上述各类零部件分为通用型和专用型两类。专用型零部件一般仅用于一类半导体设备,通用型零部件适用于两类及以上半导体设备,各类半导体设备中有较多通用性零件。
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