纳秒激光钻孔（左）和皮秒激光钻孔（右）的效果
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冷加工优势凸显，超快激光赋能先进封装材料加工 极小的热影响区，亚波长加工精度，锥度可调和灵活加工的形状。“冷烧蚀”特性将热损伤限制在亚微米范围内，远小于纳秒激光的数十微米。同时，材料烧蚀存在一个明确的能量密度阈值（Fluence Threshold）。只有当激光能量密度超过该阈值时，材料才会被去除。利用这一特性，通过精确控制聚焦光斑的能量分布，可以制造出尺寸小于激光波长的特征，实现超高分辨率加工。另外，通过先进的光束路径扫描控制技术和光斑整形技术，超快激 光可以实 现孔壁锥度可调；通过计算机控制扫描振镜的 路径，还可以轻松实现任意形状的微孔加工，机械钻孔无法比拟。
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