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随着半导体制造技术向 7nm、5nm 及以下节点演进,芯片内部结构愈发复杂,对探针卡的精度、密度和可靠性提出更高要求。MEMS 探针卡凭借微米级探针直径、高度一致性和三维结构,能够适应超小间距(<50μm)和高针数(数千针)的测试需求,成为高端芯片测试的主流选择。据共研产业咨询预计,2030 年我国 MEMS 探针卡产量、需求量约612 片、1286 片,市场规模将达到 38.7 亿元。
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