电容性等离子体刻蚀反应腔（CCP）
2024-07-16 08:18:40
519
相关数据
行业数据1
图表36放电等离子体（DPP）光源发生原理
2025-10-16 13:45:07
78
原图定位
行业数据1
图表37激光等离子体（LPP）光源发生原理
2025-10-16 13:45:07
89
原图定位
行业数据1
图表39Cymer激光等离子体（LPP）极紫外光源腔体结构
2025-10-16 13:45:07
96
原图定位
行业数据1
ICP刻蚀设备2025年之后或与CCP接近
2025-09-24 13:38:59
97
原图定位
行业数据1
中微CCP或在2025年达到90：1深宽比
2025-09-24 13:38:59
121
原图定位
行业数据1
2024中微CCP/ICP累计装机量分别超
2025-09-24 13:38:59
131
原图定位
行业数据1
2024中微CCP/ICP累计装机量分别超
2025-09-23 13:40:13
117
原图定位
行业数据1
ICP刻蚀设备2025年之后或与CCP接近
2025-09-23 13:40:13
101
原图定位
行业数据1
中微CCP或在2025年达到90：1深宽比
2025-09-23 13:40:13
98
原图定位
行业数据1
ITER电源线圈运行电流、等离子体电流及辅助加热系统电流波形
2025-08-19 13:45:46
153
原图定位
行业数据1
中国环流三号100万安培等离子体运行画面
2025-08-08 13:45:30
160
原图定位
行业数据1
ITER全钨偏滤器示意图，垂直靶板处面向等离子体单元，及穹顶处面向等
2025-08-08 13:45:17
172
原图定位
行业数据1
CFETR等离子体与屏蔽包层剖面
2025-07-11 13:46:25
200
原图定位
行业数据1
等离子体与第一壁元件的交互
2025-03-25 13:41:13
301
原图定位
行业数据1
CCP刻蚀设备付运设备数量（台）
2025-02-25 13:37:02
238
原图定位
最新数据
行业数据1
图11 联合国全球数字和可持续贸易便利化调查评分，2025年
2026-04-03 08:30:00
17
原图定位
行业数据1
图10 印度尼西亚针对其前10大出口产品进入美国市场的主要竞争者及其最新的相应关税水平
2026-04-03 08:30:00
23
原图定位
行业数据1
图9 “最坏情况”贸易战对价格的影响，2025 到 2030 年
2026-04-03 08:30:00
16
原图定位
行业数据1
图 8 “最坏情况”贸易战对印度尼西亚前10大农业食品下游需求部门的影响，2025年至2030年
2026-04-03 08:30:00
11
原图定位
行业数据1
图6 印尼对美国的农业出口，2010年至2024年
2026-04-03 08:30:00
11
原图定位
行业数据1
图7 受到美国互惠关税影响最大的五种农业食品产品
2026-04-03 08:30:00
11
原图定位
等离子体刻蚀设备是利用等离子体放电产生的带化学活性的粒子，在离子的轰击下，与表面的材料发生化学反应，产生可挥发的气体，从而在表面的材料上加工出微观结构。根据产生等离子体方法的不同，干法刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀和电感性等离子体刻蚀；根据被刻蚀材料类型的不同，干法刻蚀主要是刻蚀介质材料（氧化硅、氮化硅、二氧化铪、光刻胶等）、硅材料（单晶硅、多晶硅、和硅化物等）和金属材料（铝、钨等）。电容性等离子体刻蚀主要是以高能离子在较硬的介质材料上，刻蚀高深宽比的深孔、深沟等微观结构；而电感性等离子体刻蚀主要是以较低的离子能量和极均匀的离子浓度刻蚀较软的和较薄的材料。这两种刻蚀设备涵盖了主要的刻蚀应用。
其它
原图定位
相关数据
最新数据
原图定位
