半导体真空泵市场规模预测
2026-06-26 08:15:33
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先进制程工艺推动真空泵需求持续提升。以月产 6万片的 12 英寸晶圆厂为例，其产线需配置约 3500 台干式真空泵。同时，先进存储的层数演进及高深宽比刻蚀对真空稳定性的高要求，也进一步提升了真空泵的配置密度与单机价值量。根据SEMI 对全球晶圆月产能的预测，2025 年中国（除港澳台地区）/东南亚/美国半导体真空泵市场规模分别为 72/19/37 亿元，中国市场用量最大，美国市场由于新建产能以先进制程为主，单机售价更高，预计将成为全球最大的真空泵市场。
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