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制程提升，晶体管密度提升速度显著放缓。过去六十年科技的迅猛发展见证了晶体管密度作为摩尔定律核心表征之一的迅猛提升。以台积电的晶体管密度数据为例，从 2011 年 28nm 制程的约 1331 万晶体管/mm²，到 2020 年 5nm 制程的约 1.713 亿晶体管/mm²，复合增速高达 32.83%。但进入 5nm 及更先进节点后，晶体管密度增速明显降低，回落至个位数水平。尽管技术迭代仍能推高晶体管密度的绝对值，成本却随之成倍增加（如 5nm 万片月产能的资本支出超 40 亿美元，远超 7nm 节点的25 亿美元）。这种晶体管密度增长锐减与资本投入飙升的并存局面，正是摩尔定律渐趋失效的有力证明。
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