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先进制程逼近极限，晶体管密度提升速度显著放缓。作为摩尔定律的有效表征之一，晶体管密度在过去 60 年快速增长。2011 年 28nm 制程的晶体管密度可达 13.31 百万个/mm2，2020 年的 5nm 制程的晶体管密度为 171.3 百万个/mm2，对应晶体管密度的复合增速为 32.83%。然而，5nm 以下制程，其晶体管密度的复合增速便降为个位数，增速显著放缓。尽管随着技术迭代，晶体管密度的绝对值仍然会上升，但是所付出的成本将会快速提升。粗略估计，7nm 制程万片每月产能对应资本开支为 25 亿美元，而 5nm 制程万片每月产能对应资本开支则超过 40 亿美元。晶体管密度增速的下降以及对应资本开支的不断上涨，充分表明摩尔定律正在逐步失效。
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