SK海力士12寸晶圆厂每万片对应气体耗量(kg)
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根据 SK 海力士 12 英寸晶圆厂技改环评,20nm 级存量产能每万片对应气体耗量由大到小排序包括三氟化氮(每万片 2607kg,应用于刻蚀、清洗环节)、笑气(每万片 552kg,与硅烷搭配应用于薄膜沉积环节)、硼烷/氢气混合气(每万片 383kg,应用于掺杂环节)、氨气(每万片 352kg,与硅烷配合应用于薄膜沉积环节)、四氟甲烷(每万片 279kg,作为氟碳类气体用于刻蚀环节)、甲硅烷(每万片 193kg,应用于薄膜沉积环节)。
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