SK海力士12寸晶圆厂每万片对应气体耗量（kg）
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根据 SK 海力士 12 英寸晶圆厂技改环评，20nm 级存量产能每万片对应气体耗量由大到小排序包括三氟化氮（每万片 2607kg，应用于刻蚀、清洗环节）、笑气（每万片 552kg，与硅烷搭配应用于薄膜沉积环节）、硼烷/氢气混合气（每万片 383kg，应用于掺杂环节）、氨气（每万片 352kg，与硅烷配合应用于薄膜沉积环节）、四氟甲烷（每万片 279kg，作为氟碳类气体用于刻蚀环节）、甲硅烷（每万片 193kg，应用于薄膜沉积环节）。
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