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ASML 是全球光刻机市场领导者，2024 年总出货量达 418 台。在高端 EUV 光刻机方面，拥有垄断地位，是全球唯一量产 EUV 光刻机的厂商。根据 ASML 年报披露，2024 年 EUV 光刻机出货量为 44 台，价值量占其总销售额的 38%；ArFi 光刻机销量 129 台，销售额占比约44%，是收入占比最高的出货品类；其余光刻机销量为 245 台。
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