图表56ASML收并购历程及其战略意义
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技术迭代的同时，ASML 通过产业链纵向整合构筑系统性壁垒。2002 年，公司收购美国硅谷光刻集团（SVG），深化与美国本土的产业联系，为后续融资与市场拓展奠定基础；2007 年收购 Brion，补强计算光刻与检测解决方案；2013 年并购 Cymer，掌握唯一可量产的 EUV 光源技术；2016 年收购 HMI，补强电子束检测与计量能力；2017 年以 24.8%股权参股卡尔蔡司，稳固其在 EUV 投影光学上的核心竞争力；2019 年收购 Mapper Lithography 知识产权与研发团队，扩展多束电子束计量技术；2020 年收购 Berliner Glas Group，扩充高端光学与模块制造产能，强化 EUV 产能爬坡的关键瓶颈环节。通过一系列收购整合，ASML 实现了从光源、光学、检测到整机的全链路覆盖，在“技术+产业链”的闭环优势中建立了高度不可替代的系统能力。
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