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在常规的酸碱、非苛刻薄膜沉积工艺中，国产电加热/燃气洗涤型 Scrubber 的技术成熟度已能够比肩海外，在新建 12 寸成熟制程晶圆厂中的设备国产化率已达到60%-80%。国产温控设备在稳定性、降温斜率等核心指标上已基本追平海外一线品牌，成熟产线采购国产温控设备已成主流趋势，国产温控龙头京仪装备国内市占率已升至约 30%。
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