ASML总体结构及主要组成系统（以EUV光刻机为例）◆
2024-10-16 08:15:45
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工件台、晶圆传输系统、对准系统、调平调焦系统、环境控制系统、整机框架和减振系统、整机控制系统和整机软件等，其中光源、光学系统、双工件台为光刻机的三大核心部件，价值量占比约为15%、24%、12%。
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