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量价拆分：EUV 单价 1.72 亿欧元大幅领先，中低端光刻机以量取胜。2023年 EUV/ArFi（浸没式）/ArF（干式）/KrF/I-Line 分别出货 53/125/32/184/55台，单价分别 1.72/0.72/0.24/0.12/0.05 亿欧元。高价值量的 High-NA EUV 光刻机开始渗透（约 3.5 亿欧元/台，大幅高于 Low-NA EUV 的 1.7 亿欧元），有望推高单价；尖端光刻机受益于先进制程扩产、中低端光刻机受益于成熟制程扩产，出货量有望稳步增长。
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