分产品收入（亿欧元）：尖端光刻机EUV、浸没式ArFi占比较高
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产品结构：尖端产品 EUV、浸没式 ArFi 占比较高。从产品结构来看：2023年尖端产品 EUV 光刻机、浸没式 ArFi 光刻机分别收入 91 亿、91 亿欧元，分别占系统收入的 41%、41%。量测及检测收入包括光学量测（用于量测套刻精度等）、电子束量测及检测（用于定位和分析单个芯片缺陷）、计算光刻收入（实现精确的光刻模拟）。
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