用于先进制程的光刻机主要为 EUV 与 ArFi，2022 年公司 EUV 与 ArFi 出货量分别为 40台与 81 台，公司预计到 2025 年 EUV 相对 ArFi 的销量将显著提升。2）ASP：2022 年公司 EUV 与 ArFi 平均售价分别为 1.8 亿欧元与 6250 万欧元，而根据中国电子报报道，High-NA EUV 单价有望超过 3 亿美元（约 2.8 亿欧元），几乎为当前 EUV 的两倍。Low-NA EUV 的销量提升，以及 High-NA EUV 的开启交付，都将持续推高公司整体 ASP。3）产能：为应对未来快速增长的光刻机需求，公司持续提高自身产能（非交付量），预计2025-2026年DUV光刻机年产能将达到 600台/年，Low-NA EUV光刻机将达到 90台/年，到 2027-2028 年 High-NA EUV 光刻机产能将达到 20 台/年。同时，公司还将通过提高单光刻机的晶圆产能，到 2025-2026 年分别将 DUV 与 Low-NA EUV 的总晶圆产能提升至2020 年的 3 倍与 5 倍。4）我们认为：EUV 持续供不应求，公司有望通过 Low-NA EUV的扩产与 High-NA EUV 的出货实现整体光刻机业务的量价齐升；公司 2025-2030 年的营收增长中，将有超过半数以上的增长贡献将来自于 EUV（100 亿欧元），我们持续看好由EUV 主导的业绩提升。